超聲相控陣檢測幾乎可以用于任何可以在傳統(tǒng)意義上使用常規(guī)超聲探傷儀的測試應(yīng)用中。焊接檢查和裂紋檢測是兩個(gè)更重要的應(yīng)用,因?yàn)樗鼈冇糜诟鞣N工業(yè)領(lǐng)域,包括航空航天,電力生產(chǎn),石油化工,金屬坯料和管件的商品供應(yīng),運(yùn)輸管道的建設(shè)和維護(hù),結(jié)構(gòu)金屬以及一般制造業(yè)。
相控陣技術(shù)還可以有效地用于腐蝕測量應(yīng)用中,以縱向輪廓的形式顯示殘余壁厚。
超聲波相控陣檢測
相控陣技術(shù)優(yōu)于常規(guī)超聲技術(shù),因?yàn)樗梢栽趩蝹(gè)探頭組件中使用多個(gè)芯片來偏轉(zhuǎn),聚焦和掃描聲束。使用通常被稱為扇形掃描的光束偏轉(zhuǎn),可以以合適的角度生成工件的映射圖像。
這大大簡化了檢測具有復(fù)雜幾何形狀的工件的過程。另外,當(dāng)檢測空間有限且不方便進(jìn)行機(jī)械掃描時(shí),探針的底部較窄的底面及其從不同角度發(fā)射聲束而不移動(dòng)的能力更有助于檢測此類復(fù)雜形狀的工件。
扇區(qū)掃描通常用于焊接檢查。使用單個(gè)探針以多個(gè)角度檢測焊接的能力大大提高了檢測異常焊接條件的可能性。電子聚焦可以在出現(xiàn)缺陷的位置優(yōu)化聲束的形狀和大小,從而進(jìn)一步提高檢測率。
聚焦于多個(gè)深度的能力還可以提高量化體積檢測中關(guān)鍵缺陷的能力。這種聚焦功能可以在具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中顯著提高信噪比,并且沿著多組晶圓進(jìn)行電子掃描還可以快速生成C掃描圖像。
相控陣系統(tǒng)的潛在弱點(diǎn)是相對較高的成本和對操作員培訓(xùn)的要求。但是,由于相控陣技術(shù)的靈活性以及特定檢測的時(shí)間節(jié)省,經(jīng)常會(huì)補(bǔ)償高昂的成本。